T/IAWBS 021-2024 碳化硅晶片边缘轮廓检测方法

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资源简介
本文件规定了碳化硅晶片边缘轮廓（包含切口）的检测方法。
本文件适用于检测倒角后碳化硅晶片的边缘轮廓（包含切口），其他材料晶片边缘轮廓的检测可参照本文件执行。
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  • 本文由 发表于 2024年7月23日 16:33:13
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