T/ZZB 3749-2024 多级罗茨干式真空泵

ICS 23.080
CCS J 78
团体标准
T/ZZB 3749—2024
多级罗茨干式真空泵
Multi-stage roots dry pumps
2024 - 07 - 05 发布 2024 - 08 - 05 实施
浙江省质量协会 发布

目 次
前 言 ............................................................................ II
1 范围 .............................................................................. 1
2 规范性引用文件 .................................................................... 1
3 术语和定义 ........................................................................ 1
4 型式、型号与基本参数 .............................................................. 1
5 基本要求 .......................................................................... 2
6 技术要求 .......................................................................... 3
7 试验方法 .......................................................................... 4
8 检验规则 .......................................................................... 5
9 标志、包装、运输和贮存 ............................................................ 6
10 质量承诺 ......................................................................... 7
T/ZZB 3749—2024
II
前 言
本文件依据GB/T 1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由浙江省质量协会归口。
本文件主要起草单位：浙江博亚精密机械有限公司。
本文件参与起草单位：安泊智汇半导体设备（上海）有限公司、无锡松煜科技有限公司、上海
应用技术大学、上海工程技术大学、浙江威肯特智能机械有限公司。
本文件主要起草人：陆学贵、李松波、卢冬雪、吴晓云、马明全、黄占超、宋涛、陈庆敏、侯
大立、武涛、姬志国。
本文件评审专家组长：徐海平。
T/ZZB 3749—2024
1
多级罗茨干式真空泵
1 范围
本文件规定了多级罗茨干式真空泵的型式、型号与基本参数、基本要求、技术要求、试验方法、
检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。
本文件适用于工作环境温度为5 ℃～35 ℃，除单级、双级以外的多级罗茨干式真空泵（以下简称
泵）。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文
件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适
用于本 文件。
GB/T 191 包装储运图示标志
GB/T 825 吊环螺钉
GB/T 1348—2019 球墨铸铁件
GB/T 3864 工业氮
GB/T 5226.1—2019 机械电气安全 机械电气设备 第1 部分:通用技术条件
GB/T 9439—2023 灰铸铁件
GB/T 13306 标牌
GB/T 13384 机电产品包装通用技术条件
GB/T 14711 中小型旋转电机安全要求
GB/T 21271 真空技术 真空泵噪声测量
GB/T 29531 泵的振动测量与评价方法
GB/T 32218 真空技术 真空系统漏率测试方法
JB/T 11237—2011 真空技术 多级罗茨干式真空泵
3 术语和定义
JB/T 11237界定的术语和定义适用于本文件。
4 型式、型号与基本参数
4.1 型式
泵的结构型式是多级罗茨转子串联在一对真空泵轴上做反向同步旋转运动，转子与泵腔间不接
触，以极小间隙密封气体，多级串联的形式使气体逐级被压缩，可直排大气。
4.2 型号
泵的型号表示方法：
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2
□ □ □ — □ □ □
代表泵设计序号，从第一次改型设计开始，以字母A、B、C、…顺序表示
名义抽气速率，单位为升每秒(L/s)
适用工艺环境，“F”表示被抽气体为腐蚀性气体，无特指情况下可省略
干式真空泵，用“G”表示
罗茨型转子多级泵，用“LC”表示
真空泵级数，以阿拉伯数字表示，可省略
示例：用于抽除腐蚀性气体，抽气速率为30 L/s 的五级罗茨干式真空泵，型号为“LCG—F30A”。
4.3 基本参数
泵的基本参数应符合表1的规定。
表1 基本参数
序
号
型号
抽气速率
L/s
/（m3/h）
极限全压
力（无气
镇）
/Pa
噪声a
（Lw）
/dB
（A）
额定转速
/
（r/min）
推荐配用
电动机功
率
/kW
进气口
公称通
径
/mm
推荐气镇
量
/(L/min)
抽气效率/%
1 kPa
时
10
Pa时
1 LCG—30A 30（100） ≤3 ≤65
3000
3 63 0～15
≥82 ≥21
2 LCG—45A 45（160） ≤3 ≤65 3 63 0～15
3 LCG—70A 70（250） ≤3 ≤75 6 100 0～15
4 LCG—170A 170（600） ≤5 ≤82 22 100 0～15
5 LCG—280A 280（1000） ≤5 ≤85 30 160 0～15
6 LCG—F30A 30（100） ≤3 ≤65 3 63 5～120
7 LCG—F45A 45（160） ≤3 ≤65 3 63 5～120
8 LCG—F70A 70（250） ≤3 ≤75 6 100 5～120
9 LCG—F170A 170（600） ≤5 ≤82 22 100 5～120
10 LCG—F280A 280（1000） ≤5 ≤85 30 160 5～120
a 噪声是在泵安装罩壳和排气阀的条件下测量。
注：以上技术参数是以五级罗茨干式真空泵为例。
5 基本要求
5.1 研发设计
5.1.1 应对泵的结构强度进行有限元分析。
5.1.2 应采用计算机三维建模软件对泵的结构和外观进行优化设计。
5.1.3 应采用流体动力分析软件对泵的性能进行分析和验证。
5.2 原材料及零部件
5.2.1 泵体、侧盖、轴承座、电机支架材料的力学性能应不低于GB/T 9439—2023 规定的HT250 的要
求。
5.2.2 转子材料的力学性能应不低于GB/T 1348—2019 中规定的QT500-7 的要求。
5.2.3 泵电机应符合GB/T 14711 的规定，不低于二级能效。
5.2.4 吊环螺栓应符合GB/T 825 的规定。
5.3 工艺与装备
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5.3.1 泵主要零件泵体、转子加工前应进行时效处理。
5.3.2 泵体和转子等零件应采用精度不低于6 级的数控机床。
5.3.3 泵的转子、轴承座应采用激光打码机进行标识。
5.4 检验检测
5.4.1 采用动平衡仪器对泵转子进行动平衡检测。
5.4.2 对密封有要求的腔室加工后应进行气密性测试。
5.4.3 应具备泵的抽气速率、极限全压力、噪声、额定转速等性能指标的检测能力。
6 技术要求
6.1 外观
外表面油漆应光洁，紧固件及其他外露加工面应做防锈处理。
6.2 性能指标
6.2.1 抽气效率
抽气速率应符合表1的规定。
6.2.2 极限全压力（无气镇）
极限全压力（无气镇）应符合表1的规定。
6.2.3 噪声
噪声应符合表1的规定。
6.3 负载
泵在入口压力10000 Pa下，连续运转500 h后，噪声和极限全压力（无气镇）应符合表1的规定。
6.4 入口最大允许压力
泵工作时的入口最大允许压力应不小于6000 Pa。
6.5 工作温度
泵在极限压力下运转1 h后，测得泵最后一级泵腔侧壁中心点的最高温度不应超过200 ℃。
6.6 安全要求
6.6.1 机械安全
6.6.1.1 可能与人体接触的运动及高温部位应设置防护罩壳和警示标志。
6.6.1.2 泵应具备一定的电气控制系统，在功率过载、水冷失效或气镇失效的情况下，可自动停泵或
报警提示。
6.6.2 电气安全
6.6.2.1 绝缘电阻应符合GB/T 5226.1—2019 中18.3 的规定。
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6.6.2.2 耐压试验应符合GB/T 5226.1—2019 中18.4 的规定。
6.7 消耗功率
泵的消耗功率应不大于电动机额定功率的80 %。
6.8 密封性
6.8.1 泵的动密封不应有渗漏水、渗漏油现象。
6.8.2 泵的气体漏率应不大于1×10-5 Pa·m3/s。
6.8.3 泵的腔体不应有油蒸汽冷凝后的油迹。
6.9 振动
泵的振动速度应不大于3 mm/s。
7 试验方法
7.1 试验装置
应符合JB/T 11237—2011中6.1的规定。
7.2 试验条件
应符合JB/T 11237—2011中6.2的规定。
7.3 外观
采用感观法进行检验。
7.4 性能指标
7.4.1 抽气效率
通以表1规定的气压，实际抽气速率按JB/T 11237—2011中6.3的规定进行，计算实际抽气速率与
理论抽气速率的比值。
7.4.2 极限全压力（无气镇）
按JB/T 11237—2011中6.3的规定进行。
7.4.3 噪声
按GB/T 21271的规定进行。
7.5 负载
泵在入口压力10 000 Pa下，连续运转500 h后，按7.4.2和7.4.3的规定进行。
7.6 入口最大允许压力
按JB/T 11237—2011中6.7的规定进行。
7.7 工作温度
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按JB/T 11237—2011中6.5的规定进行。
7.8 安全要求
7.8.1 机械安全
目视及手动操作进行检测。
7.8.2 电气安全
7.8.2.1 绝缘电阻按GB/T 5226.1—2019 中18.3 的规定进行。
7.8.2.2 耐压试验按GB/T 5226.1—2019 中18.4 的规定进行。
7.9 消耗功率
按JB/T 11237—2011中6.4的规定进行。
7.10 密封性
7.10.1 泵运行2 h 后观察泵外表面是否有明显的水渍、油渍，油腔内的真空油是否有外漏现象。
7.10.2 漏率按GB/T 32218 的规定进行。氮气应符合GB/T 3864 的要求。
7.10.3 无油测试按JB/T 11237—2011 中6.9 的规定进行。
7.11 振动
按GB/T 29531的规定进行。
8 检验规则
8.1 检验分类
产品检验分为出厂检验和型式检验，检验项目见表2。
表2 检验项目
序号 检验项目 出厂检验 型式检验 技术要求 试验方法
1 外观 √ √ 6.1 7.3
2 抽气速率 — √ 6.2.1 7.4.1
3 极限全压力（无气镇） √ √ 6.2.2 7.4.2
4 噪声 √ √ 6.2.3 7.4.3
5 负载 — √ 6.3 7.5
6 入口最大允许压力 — √ 6.4 7.6
7 工作温度 — √ 6.5 7.7
8
安全要求
机械安全 √ √ 6.6.1 7.8.1
9 电气安全 — √ 6.6.2 7.8.2
10 消耗功率 — √ 6.7 7.9
11 密封性 — √ 6.8 7.10
12 振动 — √ 6.9 7.11
注：“√”为应检项目，“—”为不检项目。
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8.2 组批
以同一原材料、同一工艺生产的同一规格的同一订单产品为同一批次。
8.3 出厂检验
出厂检验项目全部合格，则判定出厂检验合格；否则，判定出厂检验不合格。
8.4 型式检验
8.4.1 有下列情况之一时，应进行型式检验：
a) 新产品或老产品转厂生产的试制定型鉴定时；
b) 当正常生产的产品设计、工艺或使用材料等方面有重大变更而可能影响产品性能时；
c) 产品停产两年以上重新恢复生产时；
d) 正常生产时，每年应进行一次型式检验；
e) 出厂检验结果与上次型式检验有较大差异时。
8.4.2 从出厂检验合格的样品中抽取一台进行型式检验。
8.4.3 型式检验项目全部合格，则判定型式检验合格；否则，判定型式检验不合格。
9 标志、包装、运输和贮存
9.1 标志
9.1.1 泵出厂前均应在相应的位置标出“电动机转向”符号。
9.1.2 泵均应在明显部位装上产品标牌，标牌的型号及尺寸应符合GB/T 13306 的规定。应注明：
a) 泵型号和名称；
b) 泵制造厂名称，出口产品标注国名；
c) 泵技术参数：
——极限压力，单位为帕（Pa）；
——抽气速率，单位为升每秒（L/s）；
——配用电动机功率，单位为千瓦（kW）；
——转速，单位为转每分（r/min）。
d) 泵的编号；
e) 泵出厂日期。
9.2 包装
9.2.1 产品的包装应符合GB/T 191 和GB/T 13384 的规定。
9.2.2 不装箱的产品不应露天存放，以免发生生锈和损坏。
9.2.3 泵出厂前应附带下列文件：
a) 装箱单；
b) 产品合格证；
c) 产品使用说明书。
9.2.4 泵出厂应装箱，进、出口应封盖。备件及技术文件应装入文件袋内并妥善放置在包装箱内，以
免在运输中遗失或损坏。
9.3 运输
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泵运输时应保证产品及其包装不发生损伤，泵在运输过程中可能松脱的零部件应有防松措施。运
输中应防止日晒、雨淋和剧烈振动。
9.4 贮存
产品应存放在通风和干燥的仓库内，不应和有腐蚀性物质混存，以免发生锈蚀和损坏。
10 质量承诺
10.1 在符合产品说明书的条件下，从制造厂发货之日起的18 个月或安装后12 个月内，产品因质量
问题导致不能正常工作的，制造商应提供免费更换或修理服务。
10.2 客户有诉求时，在12 h 内响应，并在48 h 内提出解决或处理方案。
10.3 建立质量信息追溯系统，追溯质量记录保存时间应不少于36 个月。